电子精密制造装备及技术教育部重点实验室于2007年10月由广东省教育厅和国家教育部批准建设，并于2014年7月通过教育部验收。其前身是机械装备制造及控制技术教育部重点实验室，依托单位是广东工业大学。

实验室拥有一支高水平研发团队，包括共享院士3人、国家杰出青年3人、长江学者3人、新世纪百千万国家级人才1人、国家杰出青年基金获得者1人，珠江学者1人，博士学位比例达到97%。实验室拥有仪器设备总值超过2亿元，科研用地面积近5000平方米。

近年来，实验室围绕“电子精密制造装备及技术”这一主题，密切结合我国、特别是广东省电子信息产业及装备制造领域的各项需求，在复杂精密机电系统设计理论与方法、超精密加工理论与方法、精密运动控制与检测技术、电子精密制造装备及系统集成技术四个研究方向上开展了深入的理论方法研究与系列精密装备研发。形成了一批具有自主知识产权的精密制造装备领域关键核心技术、一批有技术创新和显著经济效益的标志性成果，先后获得国家科技进步二等奖1项，广东省科学技术奖一等奖3项。