共享设备清单
| 序号 | 设备名称 | 厂家及型号 | 购置时间 | 设备价格（万元） |
| 1 | TSV皮秒激光创成装备 | 大族激光/HDZ-WLP200 | 2017.09 | 701.19 |
| 2 | 晶圆级倒装装备 | 北京慧摩森电子系统技术有限公司/ BJSM-JY001 | 2017.12 | 605.72 |
| 3 | 高分辨双光源X射线三维显微镜 | 立方通达实业（天津）有限公司/Lifetime610 | 2017.09 | 588 |
| 4 | 超精密五轴数控联动金刚石加工机床 | Moore Nanotechnology Systems,LLC/ 350FG | 2014.10 | 543.12 |
| 5 | 五轴激光加工机床 | 西安中科微精光子制造科技有限公司/MM-GD-WZ-01 | 2017.09 | 478.394 |
| 6 | 超声振动成形机床 | DMG MORI/Ultrasonic 10 | 2017.12 | 446 |
| 7 | 气压烧结炉 | 德国FCT系统公司/FCT/FP H 6/12.5 LA | 2017.12 | 331.91 |
| 8 | PVD离子镀膜机 | 北京丹普表面技术有限公司/ AS500DMTXBH | 2014.11 | 304.02 |
| 9 | 板材加工智能生产线半仿真平台 | 厦门丰力机械有限公司/定制 | 2017.07 | 295.88 |
| 10 | 3D打印机（树脂） | 3D System/projet 6000MP | 2017.10 | 269.98 |
| 11 | 掺镱光纤激光器 | 大族激光科技产业集团股份有限公司/ HWF40 | 2017.12 | 267.87 |
| 12 | 三维精密电子封装装备开发的检测仪器 | 广州市元奥仪器有限公司/Condor Sigma等 | 2017.11 | 249 |
| 13 | 激光跟踪测量系统 | 徕卡测量系统有限公司/ LEICA/AT960-MR | 2016.12 | 245.5 |
| 14 | 放电等离子烧结炉 | 德国FCT系统公司/FCT/HHPD 10FL | 2017.09 | 214.6812 |
| 15 | 脉冲电弧涂层设备 | 深圳市普锐涂层设备有限公司/ MC800 | 2017.06 | 202.95 |
| 16 | 精密微注塑机 | ARBURG GmbH + Co KG/ 307S | 2017.06 | 199.5 |
| 17 | 高速加工中心 | 德国DMU公司/DMU60T | 2006.08 | 184.7 |
| 18 | 快速直烧式热压烧结机 | 德国飞羽公司/DSP507 | 2017.12 | 180 |
| 19 | 轮廓仪 | 英国泰勒-霍普森有限公司/ PGI1240 | 2014.06 | 173.35 |
| 20 | 非接触式激光扫描测振系统 | POLYTEC/PSV-400-M2 | 2007.08 | 169.567 |
| 21 | 精密平面磨床 | Okamoto (singapore) PTE LTD日本/ ACC106CA | 2017.03 | 155.14 |
| 22 | 液晶导光板滚筒型模具超精密加工机床 | 哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司/ 250型 | 2017.07 | 154.15 |
| 23 | PCB钻削系统 | 瑞士Posalux/ULTRA SPEED MONO-COMBI V1 | 2017.10 | 149.48 |
| 24 | 硬脆材料精密平面磨削装置 | Lapmaster SFT Corp/DMG-6011V | 2012.12 | 144.1 |
| 25 | 高速数控钻铣加工中心 | 德克尔马豪吉特迈（上海）机床有限公司/ milltap700 | 2017.06 | 130 |
| 28 | 刀具测量仪 | Alicona/InfiniteFocus SL | 2017.11 | 120 |
| 26 | 白光干涉仪 | Bruker Nano Inc./美国/ ContourGT-X | 2017.03 | 120 |
| 27 | 高温摩擦磨损仪 | 安东帕/ THT1000°c | 2016.11 | 120 |
| 29 | 精密旋转式四分量测试系统 | Kistler/ 9170A | 2017.12 | 119.95 |
| 30 | 高精度圆柱度测量仪 | 英国泰勒-霍普森有限公司/ Talyrond 585LT | 2017.10 | 115.3 |
| 31 | PXI仪器系统 | NI公司/NI PXIe1085 | 2016.12 | 106.8 |
| 32 | 硬质合金气压烧结炉 | 新冶高科技集团有限公司/SIP200B | 2017.12 | 106 |
| 33 | 力学信号测试系统 | 北京基康/BGK-FBG-8600/56-VT32 | 2010.12 | 99.8 |
| 34 | 计算机辅助测量系统 | 青海海克斯康集团公司/测量机IN2.0/V4i扫描 | 2010.11 | 99.368 |
| 35 | 液压六自由度运动模拟平台 | 哈尔滨工业大学/ IHCT/YDT-06-0.8-GDGY | 2017.12 | 99 |
| 36 | 可协调短脉冲光纤绿光加工系统 | 东莞市盛雄激光设备有限公司/ Super-Dmirco5050-30W | 2017.04 | 95 |
| 37 | 7自由度轻型操作臂 | 库卡机器人（上海）有限公司/LBR iiwa7 R800 | 2017.10 | 93.96 |
| 38 | 超精密成型平面磨床 | 西安长岛精工机械有限公司/WAZA520X-NC | 2017.10 | 89.98 |
| 39 | 激光共聚焦(3D测量)显微镜 | 奥林巴斯/OLS4000 | 2010.12 | 82.9122 |
| 40 | 实时仿真系统 | 德斯拜思机电控制技术(上海)有限公司/DS 1007 | 2017.10 | 80 |
| 41 | 表面轮廓仪 | 马尔/XT20 | 2010.04 | 75 |
| 42 | 超快成像光谱仪 | Princeton instruments/Isoplane 320 | 2017.09 | 74.9 |
| 43 | 串行数据分析仪 | LeCroy/SDA-808Zi | 2011.11 | 72.7798 |
| 44 | 纳米压痕仪 | 安东帕/ TTX-NHT2 | 2016.11 | 71.35 |
| 45 | 多轴多总线高端数控系统开发平台 | 固高科技（深圳）有限公司 | 2012.03 | 70 |
| 46 | 钢板分切用测力仪 | Kistler/ 9171A | 2016.11 | 69.98 |
| 47 | X射线应力测定仪 | 邯郸市爱斯特应力技术有限公司/XL-640 | 2017.11 | 69.9 |
| 48 | 精密切削力测试系统 | Kistler瑞士/ 9129AA | 2016.05 | 64.95 |
| 49 | 原子力显微镜 | 美国BRUKER/ INNOVA | 2015.05 | 62.1 |
| 50 | 三座标测量机 | COORD3/ARES | 2006.05 | 60.1367 |
| 51 | 多功能激光微细加工系统 | 深圳大族激光科技股份公司/SUVC-5W-B | 2011.11 | 59.7 |
| 52 | 真空烧结炉 | 沈阳威泰科技发展有限公司/定制 | 2013.04 | 57 |
| 53 | 高速摄影仪 | Photron公司/日本/ SA-Z | 2016.11 | 56.99 |
| 54 | 振动、噪声、模态测试系统 | LMS/SCM05 | 2009.12 | 56.872 |
| 55 | 刀具动平衡仪 | 德国申克/Tooldyne | 2017.11 | 56 |
| 56 | 精密CMP（化学机械抛光）装置 | Lapmaster SFT Crop/LGP-15-S-II | 2012.12 | 55 |
| 57 | 高速度数码显微系统 | KEYENCE（基恩士公司）/ VW-9000E | 2013.11 | 54.86 |
| 58 | 热重分析仪 | 法国塞塔拉姆仪器/ SETSYS EVO 18 | 2017.06 | 53.3 |
| 59 | 电子显微镜 | 日本株式会社日立高新技术/ TM3030 | 2015.01 | 52.57 |
| 60 | 三维检测扫描仪 | LMI TECHNOLOGIES/ mikroCAD | 2016.12 | 51.88 |
| 61 | 超景深三维显微系统 | keyence/VHX-600E | 2010.11 | 51.8 |
| 62 | 激光位置检测仪 | 雷尼绍/ RLE20 | 2014.06 | 50.85 |
| 63 | 晶圆级倒装芯片检测XYZθ精密定位平台 | Aerotech Inc/ PRO-3L1A | 2017.05 | 50.42 |
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