实验室在建设期间，为适应国家、特别是广东省的经济发展需求，改变国外在机械电子、电子信息等支柱产业高端精密装备的垄断地位，在复杂精密机电系统设计理论与方法、超精密加工理论与方法、精密运动控制与检测技术、电子精密制造装备及系统集成技术四个研究方向上开拓学科前沿，开展了一系列前瞻性重大科学问题与核心技术的研究和系统集成，获取了一批标志性研究成果和自主知识产权的关键技术，进一步加强了与企业的产学研合作，解决了微/光电子制造业中的一些重大共性关键技术问题，促进了广东省电子信息产业的升级，推动了精密电子装备制造业如微电子制造专用设备、微/纳米精度数控机床，微细阵列的超精密模具专用加工机床等数控加工设备及工业机器人技术的快速发展，同时极大地提升了实验室在主要研究方向上的研究水平和地位，为创建国内一流的、学科优势和特色明显的重点实验室创造了条件。

研究方向一：复杂精密机电系统设计理论与方法

面向电子制造业的高端精密装备，如微/纳米精度数控机床、微细阵列的超精密模具专用加工机床、微电子封装装备、精密操作机器人等，重点开展:

（1）高速机构非线性动力学优化理论研究

（2）非对称变加速高速精密运动规划新方法研究

研究方向二：超精密加工理论与方法

针对微/光电子制造产业中，光纤列阵接头、背光模组导光组件的V沟槽阵列，光学元件和微光机电产品的微透镜阵列，以及半导体互连微通孔阵列、硬脆材料精密加工等需求，开展深入的理论与技术研究，实现精密器件、零件及微细阵列的超精密加工。主要包括:

（1）高速微结构阵列超精密加工理论研究

（2）高密度差异化精细电路阵列创成与互连新工艺研究

研究方向三：精密运动控制与检测技术

针对微/光电子制造高端装备具有的高速高加速运动与精密频繁定位、多工艺过程协同等高响应、精密控制需求，开展深入的理论与技术研究。主要包括:

（1）高动态工况下运动平台精密定位与振动抑制新理论

（2）宏微复合的高速精密测量新原理和新方法

研究方向四：电子精密制造装备及系统集成技术

面向微电子、光电子制造的高端精密装备需求，构建各类超精密运动装置与工艺分析的实验平台，在大量实验研究的基础上，着力开展精密装备集成化关键技术研究及电子制造过程的系统集成技术，研发出系列电子精密制造装备。主要包括:

（1）新一代封装装备、超精密加工装备研制

（2）高节拍强约束电子制造系统建模与分析