实验室瞄准后摩尔时代新一代芯片器件高密度化、微型化、轻薄化的变革趋势与国际前沿，围绕“电子制造高端装备高速精密运动生成与测量”、“元器件微纳米级功能微结构阵列的高精高效创成”两大关键科学问题，开展基础理论研究，引领行业技术进步，促进学科快速发展；对接产业需求，开展高端电子制造装备的核心技术攻关与关键零部件研制，深化产学合作与企业服务，支撑产业高速发展。力争打造一个基础理论研究与核心技术攻关能力兼具、区域特色与产业特色兼备的高水平国家重点实验室，成为我国精密电子制造技术与装备领域科学研究、人才培养与学术交流的重要基地。

    实验室密切结合我国、特别是广东省电子信息产业及装备制造领域的紧迫需求，确立了极具特色的三大研究方向：1）跨尺度高速精密运动生成与测控；2）微结构阵列超精密加工；3）电子制造智能装备与系统集成。在执行机构高速急停精密定位、多维跨尺度精密操作、多学科耦合机构综合性能优化方法、宏微协同控制算法、高速高精度三维显微成像原理、微结构阵列创成与性能表征、超精密微结构阵列加工工艺、“机械-化学”复合的超精密加工工艺、电子产品制造系统跨层级运行优化方法等理论方面取得新突破，形成面向下一代精密电子制造高端装备研发的理论体系与集成方法，整体达到国际先进水平，若干细分技术领域达到国际领先水平。建设周期内，实验室将研制出一批具有国际先进水平的多维精密运动平台、高速精密运动控制器与驱动器、精密传感器与测量仪等核心功能部件，逐步打破国外技术封锁；研发系列具有国际先进水平的芯片封装装备、微结构阵列超精密加工机床等高端电子制造装备，逐步替代国外装备，部分装备水平达到国际领先水平，带动我国后端电子制造装备行业成百上千企业实现跨越式发展。

    实验室大力推动体制机制改革与创新，建立运作高效的管理机构，建设求真务实、富于创新的研究队伍；创新人力资源管理理念和方式，优化和完善绩效考核制度、项目管理与经费管理制度；切实加强制度执行力度，保障制度执行效果，持续增强实验室创新与发展活力。