微电子精密制造技术与装备（原“机械装备制造及控制技术”）教育部重点实验室
开放基金申请指南（2018年）
一、设立开放基金项目的目的
在重点实验室推行开放基金项目，是为了充分利用和发挥良好的科学研究条件和学术氛围，实现重点实验室的开放效益，开辟立足国内培养学科带头人和学术骨干的渠道。开放基金项目主要由国家教育部和广东工业大学对本实验室的拨款予以支持。开放基金项目用于吸引和资助国内外优秀学者，特别是青年学者来实验室开展面向微电子精密制造技术与装备的深入研究，促进交叉学科和新兴学科的形成和发展，培养造就高层次创新人才，提高学科水平和科研水平。
二、开放基金资助范围
1.复杂精密机电系统设计
面向微/光电子制造业的高端精密装备，如微/纳米精度数控机床，LCD显示屏背光模组等微细阵列的超精密模具专用加工机床，具有高速高加速度运动特征的IC封装装备、精密操作机器人等,开展复杂精密机械系统的设计与综合优化方法研究，主要包括：开展高速精密电子装备的机构拓扑、结构参数及控制参数综合优化方法的理论与应用研究，研究复杂精密运动的形成机理，研究复杂机电系统的多领域建模与系统性能仿真优化方法，研究复杂机电系统的协同设计及虚拟样机，实现复杂精密机电系统的综合性能优化，特别在高速复合运动机构的结构拓扑与尺度优化综合、仿真优化等方面取得良好的研究进展，并在工业界得到应用。
2.复杂机电系统精密控制
针对微/光电子制造高端装备具有的高速高加速运动与精密频繁定位、多工艺过程协同等复杂机电系统需求，在研究相关的工艺需求与运动的实现方式基础上，开展复杂机电系统的耦合控制与智能控制方法、高速高精度运动控制、精密视觉定位、多轴联动数控系统等关键技术的理论与技术研究，开展高速精密装备的多工艺过程与多运动过程的协同控制方法研究。
3.超精密加工工艺与检测技术
针对微/光电子制造装备的工艺需求与加工对象，深入开展超精密器件、零件及微细阵列的加工机理与加工工艺、特种能场加工工艺、加工过程的仿真与实验的研究，开展微纳米加工工件的形位精度检测与误差补偿的理论与方法研究，实现超精密器件、零件及微细阵列的超精密加工与检测。
4.精密电子制造装备及系统集成技术
面向微电子、光电子制造的高端精密装备需求，构建各类超精密运动装置与工艺分析的实验平台，在大量实验研究的基础上，着力开展精密装备集成化关键技术研究及电子制造过程的系统集成技术研究，研发出系列精密电子制造装备：高性能IC（LED）引线键合机、固晶机，少自由度精密操作机器人（适于快节奏电子制造生产线），微凸镜、微棱镜阵列光学曲面加工的超精密多轴数控机床，光纤连接器的微V槽阵列超精密加工机床等。
三、开放基金项目资助对象和资助额度
开放研究课题基金重点支持：面向微电子精密制造技术与装备领域符合国际前沿方向的探索课题，国家和地方急需解决的重大科学问题的探索课题，有利于发展交叉学科和新兴学科的课题，富有应用前景的研究课题等。
课题申请者(及联合申请人)一般应是在职的有副高职以上职称或已获得博士学位的研究人员。其他申请者需有副高职以上人员二人书面推荐。优秀青年科技工作者的申请不受资历限制。
申请人申报的课题须经所在单位同意签章。申请人应保证履行做出的承诺。
开放基金的平均资助额度为2～3万元，时间期限为1-2年。
四、开放基金项目申请与审批程序
1.申请者可从本实验室的网站（http://jdis.gdut.edu.cn/wdzweb/）下载基金管理办法和申请书表格（2018年），在认真阅读并认可基金管理办法的基础上，按照开放课题申请书的格式要求，认真填写。
2.实验室聘请学术委员会委员或同行专家对每项申请书进行评审并提出评审意见，经实验室主任、学术委员会主任集中评审意见后，批准符合资助条件的开放课题和资助金额。评审意见将会反馈申请者，对获准立项的项目将发给项目任务书。
3.申请者根据评审意见填报项目任务书，由实验室主任复核后，方可正式列为本室开放基金。通过审核的开放基金项目，由本实验室发送项目合同，经所在单位签署意见并加盖公章后，一式两份，寄至本实验室。
4.项目验收时研究成果至少包含发表或录用2篇SCI论文。所有研究成果由实验室、研究者所在单位及其它资助单位共享。成果必须署名本实验室为第一或第二完成单位，发表的相应论文或各种技术文件应署名“微电子精密制造技术与装备教育部重点实验室（广东工业大学），广州，广东”（英文“Key Laboratory of Precision Microelectronic Manufacturing Technology & Equipment（Guangdong University of Technology）Ministry of Education, Guangzhou Guangdong”）。
五、申请截止日期
2018年6月30日。
六、联系方式：
联系人：卜研
E-mail：43955686@qq.com
联系电话：020-39322415
通讯地址：广州市番禺区广州大学城外环西路100号工学二号馆213室
邮政编码：510006
微电子精密制造技术与装备教育部重点实验室（广东工业大学）
2018年5月
附件：
